Nettoyage

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Le procédé de nettoyage de surfaces par CO₂ supercritique permet de : 

• Proposer une alternative aux solvants conventionnels type perchloréthylène, trichloréthylène
• Eliminer les résidus de solvants ou d’agents utilisés dans le traitement de surface de composés type semi-conducteurs, supports magnétiques
• Nettoyer à coeur une matrice solide poreuse

 Voir aussi : Imprégnation, extraction par CO₂ supercritique

• Micro-électronique
• Textile
• Mécanique de précision  

Exemples de développement ou de production industriels

• Nettoyage à sec de textiles aux Etats-Unis
• Nettoyage de disques de silicium pour l'industrie du semiconducteur
• Nettoyage de circuits électroniques 

Le principe de nettoyage de surfaces par CO₂ supercritique

Il consiste à utiliser les propriétés de solvant du CO₂ supercritique pour solubiliser les éléments à éliminer. Le CO₂ supercritique étant très sélectif, des additifs type co-solvants, agents complexants, tensio-actifs peuvent être ajoutés. L’utilisation de forces mécaniques type panier rotatifs est également nécessaire comme dans les procédés de nettoyage conventionnels.